走査透過型電子顕微鏡
(STEM)
Scanning Transmission Electron Microscope
概 要
電子線を試料上で走査し、透過してきた電子線で透過像を作り出すことで、対象物を観察する方法。ナノ粒子の大きさや形状、化学組成や元素配列や結晶性等の評価に応用。
測定対象
各種ナノ粒子(合金、複合酸化物、有機物等)
仕 様
- 原子分解能分析電子顕微鏡:
JEM-ARM200F(UHR) JEOL製 - BF/ABF/HAADF像
- 走査透過像: 200~150,000,000 倍
- 透過顕微鏡像: 50~2,000,000 倍
- エネルギー分散型X線分析(EDS)
NORAN SYSTEM7 - 定性/定量/マッピング仕様
- 検出元素:B〜U
分析例
- 固溶体合金ナノ粒子
- 固溶体有機顔料ナノ粒子等の元素マッピング