電界放出型走査電子顕微鏡
（FE-SEM）
Scanning Electron Microscope
概 要
電子線を試料上で走査し、試料から放出される二次電子を検出する事で観察する方法。
微粒子の大きさや形状、表面状態や凝集状態等の評価に応用。
測定対象
各種微粒子（金属、合金、酸化物、有機顔料、医薬品等）
仕 様
- 電界放出型走査電子顕微鏡：JSM-7500M JEOL製 観察倍率： 25～1,000,000倍
- 走査型電子顕微鏡：SS-550 島津製作所製 観察倍率： 20～300,000倍
分析例
- ナノ～マイクロ粒子（粒子径、形状、表面状態、凝集状態等）
